Описание продукта Тестовая мишень LBTEK NBS 1952, также известная как тестовая мишень NBS 25, используется для уменьшения псевдоразрешения и предотвращения неточных результатов тестирования. Расположение пар линий тестовой мишени NBS 1952 прогрессивно от периферии к середине, с тремя вертикальными линиями или тремя горизонтальными линиями в качестве набора линий, обеспечивая 48 наборов из наборов линий, разделенных на 24 различных частоты. Число, отмеченное на шаблоне, является разрешением двух наборов горизонтальных и вертикальных линий, расположенных рядом с ним, так что тестовая мишень симметрична по диагонали от верхнего левого угла к нижнему правому. Если тестируемая мишень сканируется слева направо или сверху вниз, частота попадания в центр все время увеличивается, а затем падает с другой стороны. Независимо от того, идет ли речь о горизонтальном или вертикальном сканировании, за один проход всего шаблона будут охвачены все частоты тестируемого объекта, поэтому разрешающую способность оптической системы можно определить, пока она движется в одном направлении. | Принципиальная схема |
|
Мишень для испытания разрешения NBS 1963A
Разрешающая способность системы оптического изображения относится к способности системы разделять две близкие точки или детали объекта.Разрешение системы оптического изображения обычно выражается количеством пар линий, которые могут быть идентифицированы на миллиметр (циклов/мм ) . ). Пара линий состоит из черной линии и белой линии. Чем больше пар линий на миллиметр может разрешить оптическая система визуализации, тем лучше разрешение и тем выше разрешение. На рисунке 1 показано схематическое изображение максимального разрешения оптической системы формирования изображения. Ширина линии и межстрочный интервал верхней пары строк малы, и система формирования изображения не может их различить. Ширина линии и межстрочный интервал нижних пар строк увеличились. , и система визуализации может просто их разрешить.Количество пар линий на миллиметр, соответствующее парам линий, является максимальным разрешением системы визуализации.
Рисунок 1. Принципиальная схема максимального разрешения системы оптической визуализации.
Мишень для проверки разрешения LBTEK NBS 1963A содержит пять горизонтальных и пять вертикальных линий. На рисунке 2 показано изображение некоторых пар линий мишени для проверки разрешения NBS 1963A под микроскопом. В мишени используется набор из 5 линий. Каждую линию и расстояние между ней и соседней линией можно рассматривать как пару линий или цикл ( показан как D на рисунке 2 ). Разрешение, которое может измерять каждая тестовая цель, указано в циклах/мм. На тестовой мишени NBS 1963A компании LBTEK каждый набор строк отмечен частотой. Определите наименьшую разрешаемую линию (наибольшее значение циклов/мм), чтобы определить разрешение системы визуализации.
Рисунок 2. Изображение части пары линий мишени для проверки разрешения NBS 1963A под микроскопом.
Период обратно пропорционален частоте. Все частоты и соответствующие им периоды приведены в таблице ниже. Для отдельных значений ширины линии разделите период на 2.
Таблица 1. Разрешение тестовой мишени NBS 1963A ( циклов/мм)
Циклов/мм |
1 |
1.1 |
1,25 |
1,4 |
1,6 |
1,8 |
2 |
2.2 |
2,5 |
2,8 |
3.2 |
3.6 |
4 |
Размер/мм |
1,0000 |
0,9091 |
0,8000 |
0,7143 |
0,6250 |
0,5556 |
0,5000 |
0,4545 |
0,4000 |
0,3571 |
0,3125 |
0,2778 |
0,2500 |
Циклов/мм |
4,5 |
5 |
5,6 |
6.3 |
7.1 |
8 |
9 |
10 |
11 |
12,5 |
14 |
16 |
18 |
Размер/мм |
0,2222 |
0,2000 |
0,1786 |
0,1587 |
0,1408 |
0,1250 |
0,1111 |
0,1000 |
0,0909 |
0,0800 |
0,0714 |
0,0625 |
0,0556 |